1.標準アルミニウムベース
2.リニアモーターで駆動,ムーバーとステーターは非接触で動作します
3.グレーティングポジショニング/磁気グレーティングポジショニング
4.高精度,高加速,高速移動
5.ゼロバックラッシュエラー
6 .最大±2umの再現性精度（500mmストローク内）
7.ロングストローク,最大ストロークが4m以上に達する
8 .は、同じ軸上に複数の独立したムーバーを許可します
9.最大移動速度は5m以上です
10.はXYクロスステージとガントリーステージにすばやく組み立てます
1.ベースはモジュラー設計の大理石でできています,優れた剛性と優れた安定性。
2.ハイエンドのリニアモーターとグレーティングエンコーダーを採用。
3.インクリメンタル光学スケールフィードバックシステムを採用。
4.XYクロスステージに組み立てます。
5 .最大±1umの繰り返し精度（任意のストローク500mm以内）。
1.は分解とメンテナンスに便利なオープン構造,を採用しています。
2.内蔵グレーティングまたは磁気グレーティングフィードバックシステム,解像度は0.1um , 0 . 5um , 1um ,5um（オプションの場合）。
3.可動磁石フラットリニアモーターを採用。
4.最大±1umの繰り返し精度。
5 .小型でシンプルな構造,で、軽負荷および高精度の機会に適しています。
6.すぐにXYクロスステージに組み立てます。
1.ハン's サーボモジュールステージ オプションのストローク100-2000mmで100W-750Wを備えています,自動化装置,半導体装置,ソーラー装置,FPD産業用装置,およびその他のさまざまなアプリケーションシナリオ.に適しています
2.便利なデザイン,多様な構造,との多軸接続 モーションモジュール 機械の組み立て工数を効果的に削減できます.
3.繰り返し精度20um/m
4. 高トルクサーボモーターステージ 選択,セールスエンジニアに連絡してください.
