特徴：
1.最大。プレイロード 2.5kg
2.有効移動量25mm
3. 最大。速度 300mm/s
4. 繰り返し精度 ±0.5μm
ブランド:
HAN'S MOTORorder（moq）:
1製品名： 精密微細組立用高精度小型リニアステージ
精密級小型リニアステージ
ミニチュア リニア ステージには、滑らかな動作を保証するアイアンレス リニア モーターが搭載されています。応力緩和されたアルミニウムベースの組み合わせにより、優れたパフォーマンスデータが保証されます。高精度グレーティング内蔵、繰り返し精度±1μm。
応用分野
産業と研究。メトロロジー。半導体またはフラット パネル ディスプレイ製造におけるフォトニクスおよび精密スキャニング。
モーターとステージの仕様
| モデル： |
LMA55-25-XXX
-
A
|
|
|
G01
|
グレーティングフィードバック、分解能：0.1μm
|
|
|
G05
|
グレーティングフィードバック、分解能：0.5μm
|
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モーター仕様
|
||
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単位 | 価値 |
|
連続荷重（Tmax）
|
N | 8 |
|
ピークフォース
|
N | 32 |
|
モーター定数
|
N√W
|
1.74 |
|
最大連続消費電力
|
W | 21.1 |
|
連続電流 (Tmax）
|
腕 | 0.8 |
|
ピーク電流 (1S)
|
腕
|
3.2 |
|
力定数（25℃，±5%）
|
N/腕
|
10.0 |
|
逆起電圧定数（25℃，±5%）
|
Vrms/m/s | 3.3 |
|
電気抵抗（25℃，±5%）PP
|
Ω
|
15.7 |
|
インダクタンス(25℃，±20%）PP
|
μm
|
0.43 |
|
最大コイル温度
|
℃
|
120 |
|
極距離 (NN) (360℃ 電気周期)
|
んん | 36 |
|
磁力
|
N | 84 |
|
ステージ仕様
|
||
|
|
単位 | 価値 |
|
最大。ロード
|
kg | 3.5 |
|
実効ストローク
|
んん | 25 |
|
解像度
|
μm
|
0.1 |
|
最高速度（1）
|
mm/秒 | 700 |
|
繰り返し精度
|
μm
|
±0.5 |
|
重さ
|
kg | 0.5 |
|
作業環境温度
と湿度
|
0～40℃、20～80%RH
|
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