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1.ベースはモジュラー設計の大理石でできています,優れた剛性と優れた安定性。
2.ハイエンドのリニアモーターとグレーティングエンコーダーを採用。
3.インクリメンタル光学スケールフィードバックシステムを採用。
4.XYクロスステージに組み立てます。
5 .最大±1umの繰り返し精度(任意のストローク500mm以内)。
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