1.標準アルミニウムベース
2.リニアモーターで駆動,ムーバーとステーターは非接触で動作します
3.グレーティングポジショニング/磁気グレーティングポジショニング
4.高精度,高加速,高速移動
5.ゼロバックラッシュエラー
6 .最大±2umの再現性精度(500mmストローク内)
7.ロングストローク,最大ストロークが4m以上に達する
8 .は、同じ軸上に複数の独立したムーバーを許可します
9.最大移動速度は5m以上です
10.はXYクロスステージとガントリーステージにすばやく組み立てます
の合計 1 ページ