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linear motion system
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半導体機器用XYマイクロリニアポジショニングプラットフォームミニチュアスクエアリニアモーターステージ

特徴:

1.連続推力:3.5Nm

2.最大。荷重:2.4kg

3.有効移動量:10mm

4.最大。速度:270mm / s

5.繰り返し精度:±0.5

  • ブランド:

    HAN'S MOTOR
  • order(moq):

    1
製品の詳細

製品名:半導体装置用XYマイクロリニアポジショニングプラットフォームミニチュアスクエアリニアモーターステージ


特徴


1.応答が速く、加速が高く(最大25G)、整定時間が短いため、生産効率が向上します。

2.最大5m/sの高速で、生産サイクルを短縮します。

3.高剛性、ダイレクトドライブ負荷、ギア、ベルト、ボールねじなどの機械的伝達の必要がありません。

4.高精度、直接測定システム、距離/角度変換は必要ありません。

5.バックラッシュ、直接結合された電力駆動負荷、機械的変換はありません。



モーターとステージの仕様

モデル: LMA65-10-XXX - A
G01
グレーティングフィードバック、解像度:0.1μm
G05
グレーティングフィードバック、解像度:0.5μm
モーター仕様

単位 価値
連続力(Tmax)
N 3.5
ピークフォース
N 24.5
モーター定数
N√W
1.82
最大連続消費電力
W 3.68
連続電流(Tmax)
武器 0.6 0.6
ピーク電流(1S)
武器
4.2
力定数(25℃、±5%)
N / Arms
5.8
逆起電力定数(25℃、±5%)
Vrms / m / s 1.9
電気抵抗(25℃、±5%)PP
Ω
4.87
インダクタンス(25℃、±20%)PP
μm
0.1
最大コイル温度

120
極距離(NN)(360℃電気サイクル)
んん 36
磁気引力
N 67


ステージ仕様

単位 価値
最大。ロード
kg 2.4
効果的なストローク
んん 10
解像度
μm
0.1
最高速度(1)
mm / s 270
繰り返し精度
μm
±0.5
重さ
kg 0.25
作業環境温度
と湿度
0〜40℃、20〜80%RH


設置寸法

線形運動システム

アプリケーションケース

XYクロスステージに組み立て、ワイヤーボンダーに適用します。

線形運動システム

レーザーグループショー

マイクロリニアモーターステージ

弊社ショー

マイクロリニアモーターステージ

プロダクションセンターショー

マイクロリニアモーターステージ


梱包と配送

梱包の詳細:合板梱包
港:深セン(海上/航空輸送、TNT、UPS、FedEx、DHLなど)
リード時間:注文数量に応じて、少量注文の場合は10日、大量注文の場合は20日
お問い合わせ
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