ブランド:
HAN'S MOTORorder(moq):
1製品名:半導体装置用XYマイクロリニアポジショニングプラットフォームミニチュアスクエアリニアモーターステージ
特徴:
1.応答が速く、加速が高く(最大25G)、整定時間が短いため、生産効率が向上します。
2.最大5m/sの高速で、生産サイクルを短縮します。
3.高剛性、ダイレクトドライブ負荷、ギア、ベルト、ボールねじなどの機械的伝達の必要がありません。
4.高精度、直接測定システム、距離/角度変換は必要ありません。
5.バックラッシュ、直接結合された電力駆動負荷、機械的変換はありません。
モーターとステージの仕様
モデル: | LMA65-10-XXX - A |
|
G01 |
グレーティングフィードバック、解像度:0.1μm |
|
G05 |
グレーティングフィードバック、解像度:0.5μm |
|
モーター仕様 |
||
単位 | 価値 | |
連続力(Tmax) |
N | 3.5 |
ピークフォース |
N | 24.5 |
モーター定数 |
N√W |
1.82 |
最大連続消費電力 |
W | 3.68 |
連続電流(Tmax) |
武器 | 0.6 0.6 |
ピーク電流(1S) |
武器 |
4.2 |
力定数(25℃、±5%) |
N / Arms |
5.8 |
逆起電力定数(25℃、±5%) |
Vrms / m / s | 1.9 |
電気抵抗(25℃、±5%)PP |
Ω |
4.87 |
インダクタンス(25℃、±20%)PP |
μm |
0.1 |
最大コイル温度 |
℃ |
120 |
極距離(NN)(360℃電気サイクル) |
んん | 36 |
磁気引力 |
N | 67 |
ステージ仕様 |
||
単位 | 価値 | |
最大。ロード |
kg | 2.4 |
効果的なストローク |
んん | 10 |
解像度 |
μm |
0.1 |
最高速度(1) |
mm / s | 270 |
繰り返し精度 |
μm |
±0.5 |
重さ |
kg | 0.25 |
作業環境温度
と湿度
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0〜40℃、20〜80%RH |
設置寸法
アプリケーションケース
XYクロスステージに組み立て、ワイヤーボンダーに適用します。
レーザーグループショー
弊社ショー
プロダクションセンターショー
梱包と配送
梱包の詳細:合板梱包