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ミニチュアステージ
ミニチュアステージ

1.は分解とメンテナンスに便利なオープン構造,を採用しています。

2.内蔵グレーティングまたは磁気グレーティングフィードバックシステム,解像度は0.1um , 0 . 5um , 1um ,5um(オプションの場合)。

3.可動磁石フラットリニアモーターを採用。

4.最大±1umの繰り返し精度。

5 .小型でシンプルな構造,で、軽負荷および高精度の機会に適しています。

6.すぐにXYクロスステージに組み立てます。

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