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1.は分解とメンテナンスに便利なオープン構造,を採用しています。
2.内蔵グレーティングまたは磁気グレーティングフィードバックシステム,解像度は0.1um , 0 . 5um , 1um ,5um(オプションの場合)。
3.可動磁石フラットリニアモーターを採用。
4.最大±1umの繰り返し精度。
5 .小型でシンプルな構造,で、軽負荷および高精度の機会に適しています。
6.すぐにXYクロスステージに組み立てます。
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