リニアモータステージは 、主にX、Y、Z、θ方向の正確な移動を実現することができ、高速応答、正確な位置決め、高い信頼性を備えた作業台です。高速自動化装置、メカニカルアーム、光学コントラスト、位置検出精度測定システム、エレクトロニクス・半導体加工装置（半導体ウェーハ切断、固体結晶加工装置、ボンディング装置）、レーザー加工装置（レーザーマーキング、レーザー切断）などに広く応用されています。 、レーザー彫刻、レーザー穴あけ、レーザーマーキング）など。 高速リニアステージには、鉄なしモーター、鉄心モーター、管状モーターステージが含まれ、ベース幅は135mm、150mm、170mm、210mm、230mm、260mmです。 標準の電動リニアステージは、有効ストローク 100mm、200mm、300mm、400mm、500mm、600mm、700mm、800mm、900mm、1000mm、1100mm...

三、主なパラメータ（ステージ） 3.1 システム性能 パフォーマンス指標 (ステージ) 精密リニアステージの性能指標 (表 1) 性能パラメータ X軸（デュアルドライブ） Y軸 （クロスビーム） 有効ストローク（mm） 1300 1000 限界ストローク（mm） 1320 1020 繰り返し精度（mm） ±0.02 ±0.02 加速度(g) 1 1 最高速度（m/s） 1 1 荷重（kg） / 50 運転者 CDHD2-4D52AAP1 (サーボトロニクス) CDHD2-0062AAP1 (サーボトロニクス) 3.2 機械寸法 ガントリーステージ構造図（図1） シングルドライブガントリーリニアモーターステージの分解と組み立て（図3） 直動リニアステージを取り付ける際は、ステージの防塵カバーを外してください。図のように、防塵カバーの両端のトリムストリップを取り外し、防塵カバーを引き出し、両側...

製品の特徴： 大理石ベースは高剛性リニアガイドレールと高精度光学格子フィードバックと調和しており、製品の安定した精度を長期間確保できます。 X 軸、Y 軸、C 軸、B 軸、A 軸はすべてダイレクト ドライブ モーターによって駆動され、高い加速度とサブミクロンの精度を保証します。X軸、Y軸は二次元クロス構造に内蔵されたリニアモーターで駆動されました。スイングヘッド構造に内蔵されたDDRによるC軸、B軸、A軸ダイレクトドライブ。Z1軸、Z2軸はブレーキ、電源オフ保護付きサーボモーターで駆動しました。 X軸、Y軸の最高速度は1m/s、加速度は1G、繰り返し位置決め精度は±1umです。 回転軸繰り返し位置決め精度±1.5arcsec。 パラメータ： アイテム X軸 Y軸 Z1軸 Z2軸 C軸 B軸 A軸 ストローク(mm) 500 300 300 150 100°～+40° 100°～+40° 3...