製品の特徴：

大理石ベースは高剛性リニアガイドレールと高精度光学格子フィードバックと調和しており、製品の安定した精度を長期間確保できます。

X 軸、Y 軸、C 軸、B 軸、A 軸はすべてダイレクト ドライブ モーターによって駆動され、高い加速度とサブミクロンの精度を保証します。X軸、Y軸は二次元クロス構造に内蔵されたリニアモーターで駆動されました。スイングヘッド構造に内蔵されたDDRによるC軸、B軸、A軸ダイレクトドライブ。Z1軸、Z2軸はブレーキ、電源オフ保護付きサーボモーターで駆動しました。

X軸、Y軸の最高速度は1m/s、加速度は1G、繰り返し位置決め精度は±1umです。

回転軸繰り返し位置決め精度±1.5arcsec。

パラメータ：

応用：

高速・高加速・高精度に応える6軸電動リニアステージ

製品のカスタマイズ要件。ガラスフレーク検査、ガラス切断、レーザー加工（形状マーキング）、ウェハー検査、CCDイメージング、三次元プロファイルスキャン、その他のハイエンド製造業に適しています。

アプリケーションシナリオ:

立体空間の 6 次元範囲内で、高速かつ正確なポイントツーポイント操作を実現できます。

ラインスキャンカメラ、フライングシューティング用レーザー、フライングマーキング、その他の処理アクションと組み合わせることができます。

6軸連動高速リニアステージモードにより、ストローク範囲内の任意の曲線の補間動作を実現します。

ハードウェア構成:

X/Y軸——高精度リニアステージ(光学回折格子フィードバック+リニアドライブ付き)

A/B/C 軸——DDR DC トルク モーター ステージ (光学グレーティング フィードバック + DDR ドライバー付き)

Z1/Z2軸——サーボモジュール(サーボモータ+サーボドライブ+フルクローズドループ制御)

多軸モーションコントローラ：（8軸パルス出力＋8軸アナログ出力を含む）

リミット・原点センサ：回折格子リミット・回折格子原点および予備の光電センサを装備

さまざまなアプリケーションシナリオを備えたビジュアルシステム（オプション）

ソフトウェア構成:

精密電動リニアステージには、各軸ドライブとコントローラーのデバッグソフトウェアと命令、さまざまな補間軌道モーションインターフェイスが装備されており、位置補正、視覚的校正、精密測定を提供し、早期ガイダンストレーニングと開発支援サービスを提供し、ソフトウェア開発サービスを提供します。

電動位置決めステージの精度補正:

運動軸の直線誤差

運動軸の垂直誤差

回転中心における回転軸の組み付け誤差