製品の特徴：

高速：ダイレクトドライブにより、高精度位置決めと高速を同時に実現します。

超ロングストローク：Cルーブ自己潤滑リニアガイドを突合せジョイント形式で採用し、リニアモータのみで駆動する超ロングストロークを実現。

内蔵の光学格子または磁気格子フィードバック システム、解像度 0.1μm、0.5μm、1μm、5μm が最適です。

可動ステージ有効ストローク100～2500mm（オプション）。

製品の特徴：

コンパクト構造の超薄型ACモータモジュール。自己潤滑リニアガイドと小型エンコーダを採用し、厚さ30mmの超薄型を実現。

ダイレクトドライブと先進のサーボ技術により高速安定性を実現。

メカスタンド移動台有効ストローク 100～1200mm

製品の特徴：

電動xyzステージの高精度・高精度加工と部品組立により、再現精度±0.5μmを実現。

鉄骨構造;

高精度に研磨された取り付け面。

X 軸と Z 軸に光学式リニア エンコーダを構成して完全な閉ループ制御を実現します。高分解能・高応答性により、リニアステージモータの高速位置決めを実現しました。

応用：

1. 半導体産業および電子部品。

2. 医療業界における医学およびライフサイエンス。

3. 工業用品質保証、表面検査などの光学計測。